Winzige Maschinen, sogenannte Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) erleichtern uns den Alltag. In Autos messen und melden die kleinen Helfer die Beschleunigung und den Reifendruck und wissen im Mobilfunktelefon, wo oben und unten ist. MEMS sind Schlüsselelemente für zahlreiche innovative Anwendungen und zugleich aufgrund ihres geringen Material- und Energieverbrauchs sehr kostengünstig. Ihre Herstellung stellt jedoch aufgrund der feinen Strukturen der Komponenten eine große Herausforderung dar.
Die kleinen elektromechanischen Elemente werden dazu auf ein Substrat – meist aus Silizium – aufgebracht und anschließend mit einem schützenden Deckel verschlossen. Gelangen beim Bonding Staub oder Mikropartikel in den Innenraum, kann es jedoch zu Schäden des Bauteils kommen. Die Qualitätskontrolle mithilfe von Mikroskopen ist zeitaufwändig und ungenau, die vollautomatische Inspektion für viele kleinere Unternehmen jedoch oft unerschwinglich.
Hier bietet der IR-MEMS Inspector von MORITEX und SCHOTT eine neue Perspektive. „Unser IR Inspection System nutzt die Tatsache, dass Infrarot-Licht Silizium durchdringt und man so automatisch MEMS-Bauteile auf Fehler überprüfen kann“, erklärt Junya Inoue, Produktmanager und Application Engineer bei MORITEX in Tokio. „Der Silizium-Wafer wird komplett in einem Vorgang von Infrarotlicht durchleuchtet und so auf der Oberfläche, der Unterseite und im Inneren auf Fehler untersucht.“
Der IR-MEMS Inspector vereint hohe Abbildungsgenauigkeit im Sub-Mikrometer-Bereich mit den Vorteilen der vollautomatischen Inspektion in einem nur 730x625x705mm kleinen und 85 Kilogramm leichten und kostengünstigen Gerät. Es verfügt über mehrere Zoomstufen und eine umfangreiche, leicht zu bedienende Software. Außerdem werden optional verschiedene Illuminations- und Mess-Funktionen sowie automatisiertes Einlegen der bis zu 8 Zoll großen Wafer angeboten.
„Es handelt sich hierbei um ein neuartiges Inspektionssystem, das die Vorzüge eines automatisierten multi-spektralen Systems mit den Bedürfnissen nach Flexibilität und Wirtschaftlichkeit kombiniert“, sagt Matthias Endig, Sales Manager Machine Vision Europe bei SCHOTT in Mainz. Der IR-MEMS Inspector eignet sich besonders für Forschungseinrichtungen, Hersteller von Waferbond-Anlagen und MEMS-Produzenten. Das System wird auf der VISION 2011 vom 8.-10.11.2011 in Stuttgart erstmals für den europäischen Markt vorgestellt.
